摘要：飞秒激光具有超快、超强的特点.飞秒激光微纳加工发展非常迅速.本文综述了近十年来利用飞秒激光在金属、半导体、介质等各类材料中制备的纳米周期结构,阐述了若干关于飞秒激光诱导纳米周期结构的物理机理的观点.讨论了基于偏振调制的多光束干涉在半导体表面制备纳米周期结构,简要叙述了周期结构对材料光学特性的影响.

关键词：飞秒激光 纳米周期结构 多光束干涉 光学特性 

单位：华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室 上海200062