摘要：通过电离辐照对氮化镓基蓝光发光二极管器件有源区光/暗电流产生机制的研究,建立了电离辐照减小发光二极管有效输出功率电学模型.通过电离辐照对氮化镓基蓝光发光二极管器件有源区1/f噪声影响机制的研究,建立了电离辐照增大发光二极管1/f噪声的相关性模型.在I〈1μA的小注入区,空间电荷区的复合电流随辐照剂量的增加而增加.同时,随着电离辐照产生缺陷的增加,1/f噪声幅度增大.在I〉1mA的大注入条件下,由于串联电阻的影响占主导地位,表面复合速率和电流随辐照剂量的增加而增加.同时,随着电离辐照产生缺陷的增加,1/f噪声幅度增大.根据辐照前后电流电压试验结果噪声测试结论,证实了实验结论与理论推导结果的一致性.在1μA〈I〈5×10-5A的中值电流情况下,由于高能载流子散射相关的迁移率涨落与辐照新增缺陷引起的载流子数涨落竞争机制,随着辐照剂量增大,1/f噪声在频域变化没有明显规律.但是,通过1/f噪声时域多尺度熵复杂度分析方法,得出随着辐照剂量增大,1/f噪声时域多尺度熵复杂度的结果.最终证实1/f噪声幅度可以敏感地反映小注入和大注入情况下氮化镓基蓝光发光二极管电离辐照的可靠性.噪声幅值越大,则说明辐照感应Nit越高,暗电流相关的复合电流越大,光电流相关的扩散电流比例减少,使得器件发光效率、光输出功率等性能参数下降,继而影响器件可靠性,造成失效率显著增大.1/f噪声时域多尺度熵复杂度可以敏感地反映中值电流情况下氮化镓基蓝光发光二极管的电离辐照可靠性.多尺度熵复杂度越大,则说明辐照感应越多,复合电流越大,器件可靠性越差.本文结论提供了一种基于1/f噪声的氮化镓基蓝光发光二极管电离辐照可靠性表征方法.

关键词：1 f噪声 电离辐照 氮化镓基蓝光发光二极管 

单位：西安电子科技大学微电子学院 西安710071 西安电子科技大学技术物理学院 西安710071