摘要：硅基光子集成芯片的研究近年来发展迅速，已成为信息技术领域中最热门的研究方向之一，光通信、光互连、光传感等相关研发应用机构高度关注其发展，并积极介入．硅基光子集成芯片中，光栅耦合器作为光信号的输入和输出装置受到极大重视，尤其在封装和测试等环节体现出极具价值的技术优势．本文主要分析了光栅耦合器的工作原理、基本特性及国内外的发展现状和趋势，同时也概括了本课题组近期在该方向上的研究成果．

关键词：光栅耦合器 耦合效率 绝缘体上硅 光子集成 

单位：中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室 北京100083