摘要：超高精细度微共振器是实现原子或者其他偶极子与腔强耦合作用的基本部分,在腔量子电动力学（QED）、弱光非线性效应及微光学器件研究中扮演着重要的角色.微腔基本参数的精密测量最终可以确定腔与原子的耦合系数、腔场衰减率,对决定系统的动力学特性具有重要的意义.但是由于超高精细度光学微腔本身的构造和多层镀膜的特点,高精度地确定其共振频率及有效腔长存在一定困难.本文结合修正的多层介质膜模型,实验上完成了膜层为37层的超高精细度光学微腔在不同共振频率下有效腔长的精密测量,获得了超高精细度光学微腔的共振频率及波长；理论计算分析与实验测量结果相符,对纵模间隔的测量精度误差低于0.004 nm,较为修正前提高了约两个量级.同时给出了对应不同模式数下,光波渗入到介质中的深度.该方法可望应用到其他微共振器的精密测量中.

关键词：光学微腔 高精细度 共振频率 

单位：山西大学光电研究所 量子光学与光量子器件国家重点实验室 太原030006