摘要：对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究，结果表明：沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响，不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向，牢固度也大不相同；不同沉积温度下，ZnS薄膜的光学常数也不尽相同．温度为115℃和155℃时，ZnS薄膜的物理性能和光学性能较差，不适合空间用光学薄膜的研制使用．而190℃和230℃沉积温度下所得薄膜具有较好的物理和光学性能，适合于不同要求的空间用薄膜器件的研制使用．

关键词：硫化锌薄膜 沉积温度 表面形貌 光学常数 

单位：中国科学院上海技术物理研究所 光学薄膜与材料研究室 上海200083