摘要：基于半经典理论,建立了中性原子与激光驻波场相互作用的模型,分析了中性原子在激光驻波场沟道效应作用下运动轨迹及沉积特性,探讨了球差、色差和原子束发散角对沉积条纹的影响.得到了上述三种影响因素下纳米光栅的半高宽分别为0.532,12.16,96.70 nm.仿真结果表明,随着原子束发散角度的增加,沉积条纹的对比度将会下降,当原子束发散角分别为0.1 mard时,其对比度为85.2：1,发散角为0.3 mrad时,条纹对比度为5.33：1,而当发散角增加至0.5 mrad以上时,沉积条纹将会出现分裂现象,导致条纹的恶化.

关键词：激光驻波场 纳米光栅 沟道效应 

单位：桂林电子科技大学电子工程与自动化学院 桂林541004