摘要：量子信息技术近十多年来的快速发展对单光子探测器的性能提出了更高的要求，高性能单光子探测器也因此受到了更多的关注．与传统的单光子探测器相比，超导转变边沿（TES）单光子探测器在探测效率、能量分辨、光子数分辨和暗计数等方面具有突出优势．目前，超导TES单光子探测器已经被成功地应用在量子光学实验和量子密钥分配系统中，未来在量子信息技术等研究领域具有更广泛的应用．本文从超导TES单光子探测器的工作原理、制备流程、测试系统、主要性能指标以及研究现状和进展等方面对该探测器技术进行简要综述．

关键词：量子信息 超导探测器 单光子探测器 超导转变边沿传感器 

单位：清华大学 清华信息科学与技术国家实验室 北京100084 清华大学微电子与纳电子学系 微电子学研究所 北京100084