摘要：在高气压（大于100 Torr,1 Torr=1.33322×102Pa）平板位形的均匀直流辉光放电中,一定条件下观察到平行排列的明暗相间的等离子体辉纹.结合等离子体的光发射谱诊断,研究了气体组分对等离子体光学特性的影响.研究发现,随着甲烷浓度的增加,辉纹间距减小,相应的电子激发温度降低.当甲烷浓度增加时,等离子体中低电离能的粒种增加,粒子平均电离能减小,这种情况下,电子被电场加速较短的距离所获得的能量就可以激发粒子,产生可见的光发射,表现为辉纹间距缩短.随着氩气的引入,能够观察到明显的辉纹,且增大氩气含量,辉纹间距增加,这与氩的较高电离能有关,而相应的电子激发温度增加.研究结果表明,随着工作气体的改变,等离子体辉纹间距呈现出一种对电子温度的响应.

关键词：等离子体 高气压 光学特性 

单位：中国科学技术大学近代物理系 合肥230026 中国科学院等离子体物理研究所 合肥230031