摘要：基于激光的回馈效应可实现光学材料应力分布的测量，而系统外腔镜的非线性运动会引起测量结果的误差，影响系统的精度．利用高精度Nd：YAG激光回馈干涉仪对外腔镜的位移随时间的变化进行测量，采用高次拟合的方式得到位移与时间函数关系，并利用三镜腔等效模型的调谐曲线方程，对非线性运动引入的应力测量误差进行计算，实现对系统精度的修正．结果表明：外腔镜运动方向不同，引起的误差呈现相反的变化趋势：将不同方向的测量结果进行平均，可减小系统的测量误差．分析了外腔镜非线性运动带来的误差对系统测量精度的影响，提出了测量误差修正方法，对提高系统的测量精度具有重要意义．

关键词：激光回馈 非线性修正 位移测量 

单位：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 北京100191