摘要：采用数值计算和实验测量相结合的方法，阐明了高能电子束照射下绝缘厚样品的表面电位和电子产额动态特性．结果表明：由于电子在样品内部的散射和输运，沿着深度方向，空间电位先缓慢下降到最小值，然后逐渐升高并趋近于零；随着电子束照射，样品的表面电位逐渐下降，可至负千伏量级，电子总产额逐渐增大至一个接近于1的稳定值；电子束停止照射后，长时间放置下，表面电位将逐渐升高，但带电并不会消除；表面电位随电子束能量的升高近似线性下降，随入射角的增大而升高，而随样品厚度的增大仅略有下降．

关键词：绝缘样品 表面电位 电子产额 数值模拟 

单位：西安理工大学自动化与信息工程学院 西安710048 西安航空学院 西安710077 西安交通大学电子科学与技术系 西安710049