摘要：本文运用二元光学矢量理论设计了一种硅基太赫兹偶数分束器,实现高衍射效率、高均匀性、有效抑制零级的偶数分束,突破传统标量方法设计局限性,给出了分束器脊宽、槽宽、槽深、占空比、基底厚度等结构参数的最优设计值,并进行了公差分析,得到分束器各结构参数的加工允许偏差范围,对器件的设计和制作具有指导意义.

关键词：亚波长 二元矩形周期结构 太赫兹偶数分束器 严格耦合波法 

单位：深圳大学电子科学与技术学院 深圳518060 深圳大学微纳光电子技术研宄所 深圳518060