摘要：基于谐振式光学陀螺高灵敏度、低成本与微型化的发展需求,为了实现高灵敏度的谐振式微光机电陀螺,提出了以集成光学微谐振腔领域里高值、大直径谐振腔的制作为目标,应用方向为谐振式光学陀螺的球形光学微谐振腔核心敏感单元.在实验中以氢火焰作为热源采用熔融法制备球形光学微谐振腔.通过调节氢气的流量控制氢火焰热源面积,制备了不同直径（300—2200μm）的球形谐振腔,分析了球形谐振腔值、乘积、陀螺灵敏度与谐振腔直径的对应关系及其原因,获得了最优参数的面向谐振式光学陀螺的球形谐振腔敏感单元.D=1260μm时,球腔品质因数Q=7.18×10^7,得到的最优陀螺灵敏度约为10°/h,满足商业级应用的需求,为芯片级、高精度、低成本的新型谐振式光学微腔陀螺的研究奠定了实验基础.

关键词：球形谐振腔 乘积 灵敏度 微光学陀螺 

单位：中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室 电子测试技术重点实验室 太原030051