摘要：本文报道了一种超高分辨率谱域光学相干层析成像（SD-OCT）系统.该系统基于超连续谱激光光源并截取部分光谱作为宽带光源,其中心波长为665 nm,光谱半高全宽（FWHM）230 nm.系统轴向分辨率0.9μm,轴向扫描速率28600行/秒,横向分辨率3.9μm,横向视场1 mm,最大成像深度0.6 mm（空气中）.利用研制的超高分辨率SD-OCT系统,对不同型号的工业砂纸精细结构进行了成像,并与普通SD-OCT的成像结果进行对比,充分展示了研制系统在材料无损检测中优势.

关键词：光学相干层析成像 超连续谱激光光源 超高分辨率 材料检测 

单位：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 杭州310027