摘要：研究不同参数退火处理的熔石英表面损伤修复点再次损伤及损伤增长时的形貌和损伤增长率的差异，同时与未退火的基底及修复点的损伤增长行为对比．结果表明：未退火的修复点再次损伤后，损伤点周围的裂纹会在应力的作用下继续扩展，导致更加严重、尺寸更大的损伤点；当退火处理将修复点周围应力导致的光程差控制在25nm左右时，虽损伤增长速率较快，但可有效抑制裂纹扩展．同时研究结果也表明只要退火过程能将修复点周围应力导致的光程差控制在10nm以下，其损伤增长率与基底的损伤增长率没有明显差异，从而可以有效控制修复点的损伤增长速率．研究结果可为分析应力对修复点损伤增长的影响、指导退火参数的优化提供参考．

关键词：熔石英 损伤增长 裂纹扩展 退火 

单位：西南科技大学-中国工程物理研争芒院激光聚变研究中心极端条件物质特性联合实验室 绵阳621010 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 绵阳621900 电子科技大学物理电子学院 成都610054