摘要：样品的制备是对影响样品质量的各个工艺参数进行优化的过程.传统的试错法是对各个参数逐个进行尝试,需要的周期较长.与传统的单参数尝试法相比,高通量样品制备方法可以对参数实现并行筛选,因而极大地缩短了优化工艺所需的时间.本工作借助高通量制备方法成功实现系列镧掺杂BiFeO3薄膜的快速优化,包括对烧结温度、镧元素含量和高温固态反应气氛等关键工艺参数的快速筛选,同时分析了不同生长条件下样品的结构并测试了其铁电性.实验结果表明：1）560℃烧结可得到单相薄膜;2）测量不同La含量样品的铁电性,发现当E=75 kV/cm时,La=15%的样品剩余极化值（2Pr）最大,约为26.7μC/cm^2;3）在纯氧气氛下烧结有助于得到结晶性更好的单相Bi0.75La0.25FeO3±δ薄膜,并且能够提高薄膜的铁电性.

关键词：高通量制备 溶胶凝胶法 铁电性 

单位：天津师范大学物理与材料科学学院 天津300387 中国科学院物理研究所 北京凝聚态国家实验室 北京100190 北京信息科技大学 传感器技术研究中心 北京100101