摘要：在InAs/GaAs（001）量子点生长过程中,当In As沉积量为0.9 ML时,利用紫外纳秒脉冲激光辐照浸润层表面,由于高温下In原子的不稳定性,激光诱导的原子脱附效应被放大,样品表面出现了原子层移除和纳米孔.原子力显微镜测试表明纳米孔呈现以[110]方向为长轴（尺寸：20—50 nm）、[110]方向为短轴（尺寸：15—40 nm）的表面椭圆开口形状,孔的深度为0.5—3 nm.纳米孔的密度与脉冲激光的能量密度正相关.脉冲激光的辐照对量子点生长产生了显著的影响：一方面由于纳米孔的表面自由能低,沉积的In As优先迁移到孔内,纳米孔成为量子点优先成核的位置;另一方面,孔外的区域因为In原子的脱附,量子点的成核被抑制.由于带有纳米孔的浸润层表面具有类似于传统微纳加工技术制备的图形衬底对量子点选择性生长的功能,该研究为量子点的可控生长提供了一种新的思路.

关键词：脉冲激光 光致原子脱附 

单位：苏州大学光电信息科学与工程学院苏州纳米科技协同创新中心; 苏州215006