摘要：本文采用MgB2薄膜的混合物理化学气相沉积制备技术和金属掩膜版工艺,以B膜为势垒层在单晶Al2O3（0001）基底上制作了纵向三明治结构的MgB2/B/MgB2约瑟夫森结.应用标准四引线法对该超导结的R-T曲线和不同温度下的直流I-V曲线进行了测量研究.实验结果表明,制作的MgB2/B/MgB2约瑟夫森结超导开启温度为31.3 K,4.2 K时临界电流密度为0.52 A/cm^2,通过对直流特性I-V曲线的微分拟合,清晰地观测到MgB2的3D带的能隙？π为2.13 meV.

关键词：金属掩膜版工艺 混合物理化学气相沉积 

单位：贵州大学大数据与信息工程学院; 贵阳550025; 贵州民族大学化学与环境科学学院; 贵阳550025; 中国科学院微电子研究所; 北京100029