摘要：基于量子霍尔效应的整数值量子电阻标准计量器件,能够有效缩短电阻的量值传递链,减少传递过程引入的不确定度,实现电阻传递的量子化和扁平化.本文系统报告了基于GaAs/AlxGa1-xAs异质结的1k?量子霍尔阵列电阻标准器件的设计、制作和测试.该器件在1.5K下的测量结果与设计值的相对偏差为-1.96×10-7,测试数据的离散性为2.07×10-7.表明我们实现了1 k?量子霍尔电阻标准阵列器件.

关键词：异质结 霍尔效应器件 量子霍尔效应 标准与校准 

单位：中国计量科学研究院; 中国科学院物理研究所