摘要：采用脉冲激光溅射技术,在MgO单晶片衬底上,以SrTiO3作为缓冲层,交替沉积Ce0.8Sm0.2O2-δ（SDC）和8 mol%Y2O3:ZrO2（YSZ）,制备了不同周期数的（SDC/YSZ）N超晶格电解质薄膜.利用扫描电子显微镜,X射线衍射和交流阻抗对其形貌、相结构和电学性能进行了表征.研究结果表明,薄膜具有优良的超晶格结构,层与层间的界面清晰.阻抗分析表明,周期数越多的样品显示出很小的活化能（约0.768 eV）.该结果表明:周期数越多的SDC/YSZ超晶格是更为理想的低温固体氧化物燃料电池电解质.

关键词：超晶格薄膜 电导率 活化能 

单位：内蒙古大学物理科学与技术学院