摘要：提出了一种能够实现跨尺度测量具有亚纳米分辨力的可溯源外差干涉仪,利用小型化碘稳频532 nm激光器,将激光频率溯源至国际计量委员会推荐的复现米定义谱线之一的R（56）32-O（a10）上;使用双频激光空间分离的设计方法,抑制了双频激光混叠引起的测量位移非线性误差,补偿了光纤与声光调制器引入的相位噪声;通过高精度的相位测量技术,使相位测量分辨率达到了0.017°.干涉仪的不确定度评估结果显示,100 mm的量程内,其不确定度达322 pm,实现了跨尺度亚纳米分辨力可溯源的位移测量.

关键词：跨尺度 可溯源 测量 干涉仪 

单位：清华大学精密仪器系; 精密测试技术及仪器国家重点实验室; 北京100084; 清华大学深圳研究生院; 深圳518055; 北京航天控制仪器研究所; 北京100854