摘要：低能X射线望远镜是硬X射线调制望远镜卫星的主要载荷之一，探测器采用CCD236．探测器的量子效率会影响能谱拟合和绝对流量，有必要对其进行标定．利用55Fe放射源，以硅漂移探测器为标准探测器、标定了CCD236在Mn-Kα（5．899kev）和Mn-Kβ（6．497kev）能量点处的量子效率，此能段在Fe线附近，对X射线天文观测有重要价值．考虑探测器的分裂事例后，Mn—K。和Mn—KB处的量子效率分别为71％和62％．在-95～-30℃工作温度范围内，CCD量子效率与温度无关．利用CCD236的结构及实测的量子效率、不考虑沟阻影响，得到耗尽层厚度为38“m．对CCD236施加不同的电压，其量子效率基本不变，表明其在两相驱动下高低电平的耗尽层厚度相等，进而说明CCD236一直工作在深耗尽状态，其耗尽层到了外延层和衬底层边界，已达最大值．

关键词：电荷耦合器件 量子效率 耗尽层 

单位：中国科学院高能物理研究所粒子天体物理重点实验室; 北京100049; 吉林大学无线电物理系; 长春130012