摘要：对热扩散阴极表面微区发射状态进行原位观察和分析一直是热阴极研究的重要课题.本文着重介绍深紫外激光光发射电子/热发射电子显微镜的基本原理及其在热扩散阴极研究中的典型实例.系统配备了高温激活所用的加热装置,样品可被加热至1400℃.系统具有光发射电子、阴极热发射电子、光发射电子和阴极热发射电子联合三种电子成像模式.应用表明,对于热扩散阴极而言,深紫外激光光发射电子像适于呈现阴极表面的微观结构形貌;热发射电子像适于反映阴极表面的本征热电子发射及均匀性;光电子和热电子联合成像适于对阴极表面的有效发射点做出精确定位.

关键词：深紫外激光 光发射电子显微镜 热发射电子显微镜 扩散阴极 

单位：中国科学院电子学研究所; 高功率微波源与技术实验室; 北京100190; 中国科学院大学; 北京100039; 中国科学院理化技术研究所; 功能晶体与激光技术重点实验室; 北京100190; 北京中科科仪股份有限公司; 北京100190