摘要：针对空间大功率微波部件中的二次电子倍增效应影响微波部件性能的问题，基于铝阳极氧化产生大深宽比、高孔隙率均匀纳米级多孔结构的特性，结合蒸发镀银技术，提出一种有效降低表面二次电子发射系数的方法.结果表明，相比于未阳极氧化的铝样片，在不清洗样片的情况下（实际的样片表面都会存在吸附或沾污），测试得到二次电子发射系数曲线的第一能量交叉点E1从45 eV增加到77 eV，最大二次电子发射系数SEYmax从2.68减小到1.52；在清洗样片的情况下（清洗是为了去除吸附或沾污，获得理想的表面），测试得到第一能量交叉点E1从40 eV增加到211 eV，最大二次电子发射系数SEYmax从2.55减小到1.36.为了验证本文所提方法对抑制空间大功率微波部件二次电子倍增效应的有效性，分别将获得的未阳极氧化和阳极氧化后的二次电子发射系数数据用于一个X频段阻抗变换器设计中，结果显示，使用本文所提方法后，阻抗变换器的微放电阈值从7000 W提高到125000 W.本文研究的方法不仅对解决空间大功率微波部件的微放电问题有指导意义，而且对真空电子器件、加速器等领域的研究也具有重要参考价值.

关键词：阳极氧化 多孔结构 二次电子发射 微放电阈值 

单位：中国空间技术研究院西安分院; 空间微波技术重点实验室; 西安710100; 西安交通大学电子与信息工程学院; 西安710049