摘要：低能氩离子束轰击并后退火处理的离子束表面改性，会影响高温超导薄膜的表面结构和超导特性，但是其中的深刻微观机理不清楚.本文通过连续改变离子束轰击时间，系统研究了离子束表面改性对于超导膜结构和临界电流密度的影响.通过扫描电子显微镜、X射线衍射、Jc-scanning测试表征样品的结构特性和超导特性，并得出内应变、氧空位缺陷等参量.研究表明，经过表面改性的钇钡铜氧（YBa2Cu3O7-δ，YBCO）薄膜，随轰击时间增加表面形貌会变得更加均匀致密，a轴晶粒消失，并且临界电流密度有了显著的提高.由化学键收缩配对模型分析得出，临界电流密度的提高与薄膜内应变增大和引发的局部YBCO结构中Cu–O键收缩有关.

关键词：钇钡铜氧 离子束表面改性 临界电流密度 化学键收缩配对模型 

单位：北京航空航天大学; 微纳测控与低维物理教育部重点实验室; 北京100191; 湘潭大学材料科学与工程学院; 湘潭411105