摘要：针对Sm-Fe薄膜的不同晶态组织演化和磁性能调控问题，采用分子束气相沉积方法制备Sm-Fe薄膜时，通过改变Sm含量、膜厚和强磁场来调节薄膜的晶态和磁性能．结果表明，Sm含量可以调节Sm-Fe薄膜的晶态组织演化，而晶态组织的演化和强磁场对磁性能有显著影响．Sm-Fe薄膜在Sm原子比为5．8％时是体心立方晶态组织，在Sm含量为33．0％时为非晶态组织，而膜厚和强磁场不会影响薄膜的晶态组织．非晶态薄膜的表面粗糙度和表面颗粒尺寸都比晶态薄膜的小，施加6T强磁场会使表面颗粒尺寸增大，而表面粗糙度降低．非晶态薄膜的饱和磁化强度慨比晶态薄膜的帆（1466emu／cm^3，1emu／cm^3=4π×10^-10T）低约47．6％，施加6T强磁场使非晶态和晶态薄膜的Ms均降低约50％．Sm-Fe薄膜的矫顽力Hc在6-130Oe（1Oe=100／（47c）A／m）之间，其中，非晶态薄膜的风比晶态薄膜的风大．施加6T强磁场使晶态薄膜的Hc增大，而使非晶态薄膜的Hc减小，最高可以减少95％．结果表明含量和强磁场可以用于调控Sm-Fe薄膜的晶态和磁性能．

关键词：磁性薄膜 强磁场 晶态 

单位：东北大学; 材料电磁过程研究教育部重点实验室; 沈阳110819; 东北大学冶金学院; 沈阳110819; 东北大学材料科学与工程学院; 沈阳110819