摘要：在小于10 nm的沟道空间中,杂质数目和杂质波动范围变得十分有限,这对器件性能有很大的影响.局域纳米空间中的电离杂质还能够展现出量子点特性,为电荷输运提供两个分立的杂质能级.利用杂质原子作为量子输运构件的硅纳米结构晶体管有望成为未来量子计算电路的基本组成器件.本文结合安德森定域化理论和Hubbard带模型对单个、分立和耦合杂质原子系统中的量子输运特性进行了综述,系统介绍了提升杂质原子晶体管工作温度的方法.

关键词：硅纳米结构晶体管 杂质原子 量子输运 工作温度 

单位：中国科学院半导体研究所; 半导体集成技术工程研究中心; 北京市半导体微纳集成工程技术研究中心; 北京1000S3; 中国科学院大学; 材料与光电研究中心; 北京100049