摘要：利用轴向气相沉积法制备高掺F光纤预制棒过程中,CF4作为掺F源,在高温状态下,对所接触到的玻璃器皿产生腐蚀作用。本文研究了CF4气体在沉积过程对喷灯的腐蚀规律;CF4气体在玻璃化过程中对玻璃化炉的腐蚀。

关键词：轴向气相沉积法 高掺f cf4 腐蚀 

单位：成都富通光通信技术有限公司; 四川成都611731