摘要：文章利用溶胶凝胶法在ITO／玻璃衬底上制备不同浓度Co掺杂的BiFe1－x Cox O3（ x＝0．00、0．05、0．1、0．15）薄膜样品。研究了Co的掺杂对BiFeO 3薄膜的结构、形貌、漏电流及介电性能的影响。 X－射线衍射（ XRD）结果显示，未掺的和Co掺杂浓度为5％的BiFeO 3样品为菱方钙钛矿结构，属于R3c空间群。而当Co掺杂浓度为10％和15％时，样品变为四方结构。原子力显微镜（ AFM）结果表明，随着Co掺杂浓度的升高，铁酸铋薄膜变得越致密，且尺寸越小。漏电流和介电性能分析结果表明，随着Co元素掺杂浓度的增加，产物的介电损耗有所增加，但其漏电流性能有所下降。当Co的掺杂浓度分别为10％和15％时，薄膜的漏电流很小。

关键词：铁酸铋 co掺杂 介电 漏电流 

单位：新疆大学物理科学与技术学院 新疆乌鲁木齐830046