摘要：论述了激光调阻机中用有源单臂电桥进行刻蚀电阻的原理,提出了在电阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法.在复频域对激光调阻机高精度可编程电压源电路进行了分析,得到消除线电阻及其接触电阻的结论,该方法对提高电阻测量精度,特别是提高低阻的测量精度有一定的参考价值.

关键词：电阻测量 激光调阻机 有源单臂电桥 可编程电压源 复频域分析 

单位：吉林大学计算机系; 长春; 130012; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 长春; 130022