摘要：基于啄木鸟头部生物构造及其仿生隔振机理,采用混合隔振技术建立了微制造平台隔振系统.该系统以空气弹簧和橡胶层作为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器作为主动隔振元件.针对H2最优控制和H∞鲁棒控制的优缺点,主动控制器采用H2/H∞混合控制进行设计,并通过LMI凸优化方法求解H2/H∞混合控制器.仿真结果表明所设计的H2/H∞混合控制器具有良好的鲁棒稳定性和时域性能,可在非常宽的频率范围对基础干扰和由微制造设备产生的直接干扰所引起的微制造平台振动进行有效的控制,其振动控制效果明显优于H∞控制.

关键词：微制造平台 混合隔振 仿生学 超磁致伸缩致动器 隔振元件 

单位：浙江大学现代制造工程研究所; 杭州; 310027; 南华大学机械工程学院; 衡阳; 421001; 浙江大学现代制造工程研究所; 杭州; 310027