摘要：对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究,仿真结论与样机实验结果相吻合.

关键词：角位移传感器 电容式 有限元仿真 敏感元件 仿真研究 

单位：天津大学电气自动化学院; 天津; 300072