首页 > 期刊 > 仪器仪表学报 > 结构参数对硅热流量传感器热性能的影响 【正文】
摘要:基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型.在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论.
关键词:硅热流量传感器 热模拟 ansys模拟
单位:
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
相关期刊
相关范文
北大期刊
¥1560.00