摘要：在测量数据处理中,如何确定误差分布是一个情况下是数据是服从非正态分布的,不适宜用正态分布的公式计算.为此,采用Beta分布来确定分布类型,既省却了判断分布形式的困难,又可用Beta分布的参数直接求解数据处理结果.通过利用最小二乘法拟合Beta分布的参数,并计算数据处理结果.利用该方法处理激光数字干涉仪测平晶面形峰谷值的数据,可以发现该方法是可行的,而且是有效的.

关键词：数据处理 beta分布 参数拟合 

单位：上海理工大学光电学院; 上海; 200093