摘要：用有限元方法对二维方框形结构位置敏感探测器(position sensitive detector简称PSD)进行了计算和分析,讨论了结构参数、负载等对位置线性度的影响.得到的结论是:光敏区方块电阻与单位长度边框线电阻的比值v决定了PSD的线性度,v越大,器件的线性越好,比较适当的取值范围是10＜v＜20,PSD位置换算式中系数k的最佳取值不一定为器件长度之半,负载电阻的存在将导致附加位置误差.

关键词：psd 有限元分析 方框 二维 位置敏感探测器 

单位：上海交通大学物理系光学工程研究所; 上海; 200240; 福建海鹏经贸有限公司; 福州; 350002; 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心; 杭州; 310027