摘要：波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离.主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中.加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时域加入合适的窗函数,抑制寄生信号,提出包含轮廓或厚度信息的有用信号.文中介绍其设计思想,进行算法设计,并对一光学件进行了测试和比对.

关键词：波长移相干涉 加权多步波长移相算法 轮廓测量 厚度变化测量 

单位：上海大学精密机械工程系; 上海; 200072