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大尺寸直径非接触光电检测系统研究

贲春雨; 郑宇; 郭蕴纹; 陈礼华; 张国玉; 方杨; 宋鸿飞 仪器仪表学报 2006年第01期

摘要:提出了一种基于激光位移测头的大尺寸直径光电测量系统,可用于直径达φ52200mm的大尺寸工件的非接触测量。文章详细论述了测量系统结构、工作原理及同轴度测量方法,并对影响测量精度的主要误差来源进行了分析,结果表明测量精度达0.02mm。

关键词:大直径光电检测非接触

单位:长春理工大学光电工程学院; 长春130022

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