首页 > 期刊 > 仪器仪表学报 > 大尺寸直径非接触光电检测系统研究 【正文】
摘要:提出了一种基于激光位移测头的大尺寸直径光电测量系统,可用于直径达φ52200mm的大尺寸工件的非接触测量。文章详细论述了测量系统结构、工作原理及同轴度测量方法,并对影响测量精度的主要误差来源进行了分析,结果表明测量精度达0.02mm。
关键词:大直径 光电检测 非接触
单位:长春理工大学光电工程学院; 长春130022
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