摘要：针对硅的各向异性腐蚀，直接采用硅的晶格结构作为CA（元胞自动机）的晶格结构，建立了硅各向异性腐蚀的3D连续CA模型。模型通过引入更多腐蚀过程中出现的晶面，使得腐蚀过程中表层元胞边界条件的确定只与表层元胞有关，提高了模拟的精度。通过对模似结果的理论分析及将模拟的三维输出结果与已有实验结果进行对比，验证了模型的模拟效果。

关键词：元胞自动机 腐蚀模拟 微机电系统 微加工技术 各向异性腐蚀 

单位：东南大学MEMS教育部重点实验室; 南京210096; 东南大学化学化工系; 南京210096