摘要：阐述了精密气垫式隔振平台的主动阻尼关键技术之一的低频微振动测量问题，着重分析了压电传感器在低频、微幅振动测量的条件下的电荷变换单元的电路参数，并介绍了实际研究结果及其在上述主动阻尼系统中的使用效果。

关键词：隔振平台 主动阻尼 压电传感器 电荷变换 

单位：上海理工大学计算机工程学院; 上海200093