摘要：介绍多种硅片键合技术及其在基于高菜盒（Golay-cell）原理的微机械红外探测器中的应用。对多种键合方法在该器件中的实验结果进行比较，确定了现阶段最优的键合方法，即采用局部电场屏蔽方法的阳极键合方法，键合成功率在90％以上，并初步实现了器件的标准化制作。

关键词：微电子机械系统 高菜盒 红外探测器 键合 

单位：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室; 北京100022