摘要：MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度。本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要干扰源,并提出了误差补偿的方法。

关键词：硅微陀螺仪 音叉式振动陀螺仪 动态特性 误差分析及补偿方法 

单位：哈尔滨工程大学; 中国航天科工集团第三研究院第三十三研究所; 哈尔滨工程大学; 哈尔滨150001; 哈尔滨150001; 北京100074