摘要：光杠杆法是原子力显微镜（AFM）悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约，悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉，在探针一试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM，分析了光干涉误差的产生原因，并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明，为了进一步提高AFM的测量精度，有必要克服定位系统中的光干涉误差。

关键词：干涉误差 光杠杆法 悬臂 原子力显微镜 

单位：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院; 中国合肥230009; 产业技术综合研究所日本国家计量院; 日本筑波305-8563; 合肥工业大学计算机与信息学院; 中国合肥230009