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勾形磁场的优化设计与实现

安涛; 高勇; 李守智; 马剑平; 张如亮 仪器仪表学报 2007年第05期

摘要:本文采用有限元法对8英寸单晶炉(16寸坩埚)勾形磁场的磁场分布和磁场强度,以及影响磁场强度的线圈匝数、导线面积、线圈间距等因素进行了模拟分析和优化,并依据模拟结果得到磁场结构的优化设计参数。最后通过实验对磁场的设计参数进行了验证,结果表明:磁场分布和磁场强度模拟结果与实际测试结果可较好吻合;磁场的关键参数满足晶体生长的磁场要求;模拟方法是正确的、符合实际的。此方法为磁场设计提供了一种可靠的模拟新方法和经验数据。

关键词:有限元勾形磁场单晶炉磁场强度

单位:西安理工大学; 西安710048

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