摘要：在分析AT切石英晶体谐振器力敏特性及晶体内振动波传播特点的基础上，研究了同一晶体基片上的多个谐振器的力敏特性。根据共模抑制原理，将同一晶体基片上不同位置的谐振器对应的谐振频率作混频处理，并以差频形式输出，以此消除相关干扰因素对谐振器输出频率的影响。实验结果表明，AT切同基三电极石英晶体谐振器差频输出的力敏特性是传统的单基单电极谐振器力敏特性的1．3倍；同基四电极谐振器的力敏特性则略小，但可同时获得两组输出；同基多电极谐振器的频率稳定性均可达10^-10。的量级；在-50～60℃内，相对频率变化约为±5×10^-6。

关键词：共模抑制 石英晶体 同基多电极谐振器 

单位：北京信息科技大学传感器重点实验室 北京100101 云南广播电视大学 昆明650000 北京师范大学物理系 北京100875