摘要：用于视网膜修复的神经微电极阵列（MEAs）是当前国内外研究的热点问题之一。本文提出了一种以新型材料——聚对二甲苯（Parylene）为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了表征。结果表明,基于Parylene柔性微电极阵列的阻抗值在中频段呈现高通特性,其阻抗值及相位角分别为2 000--100Ω和-20°,有利于实现植入式视觉假体系统对视神经进行功能性电刺激。

关键词：柔性微电极阵列 聚对二甲苯 视觉修复 微加工工艺 电化学方法 

单位：上海交通大学生命科学技术学院 上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室 上海200240 中国科学院上海微系统与信息技术研究所纳米技术研究室 上海200050