摘要：激光并行共焦显微系统采用微透镜阵列作为分光器件,将会不可避免地引入泰伯效应,造成沿光轴方向的多次成像。形成的这些像面中有且只有一个是正焦像面,它不仅没有边缘效应、能量更加集中,而且可以有效提高系统的测量分辨率。如何寻找正焦像面是削弱泰伯效应对测量影响的关键。实验中发现,通过增大微透镜阵列光栅常数可以增大泰伯距离,从而减弱离焦像面对测量的影响;并且设计了一种识别正、离焦像面的方法,能够准确找到正焦像面,保证了系统的测量分辨率。

关键词：泰伯效应 微透镜阵列 正焦像面 离焦像面 

单位：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥230009