摘要：对电容成像交流法微电容测量电路由杂散电容导致的测量噪声进行了研究。利用运算放大器的噪声模型,对运算放大器输入电压噪声、输入电流噪声以及周边电阻元件的热噪声通过杂散电容作用于交流法微电容测量电路输出的影响进行了理论分析,给出了测量电路输出中噪声峰峰值的理论计算公式并进行了实验验证。理论分析及实验结果表明：交流法微电容测量电路前级运算放大器输入电压噪声通过测量端与地之间的杂散电容形成的噪声是该微电容测量电路输出噪声的主要来源。最后给出了电容成像系统前级运算放大器选型的指导原则。

关键词：电容成像 杂散电容 噪声 

单位：清华大学自动化系 北京100084