摘要：针对国内高精度曲率半径计量需求，研制一套激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统采用差动共焦定焦技术，利用轴向光强响应曲线的过零点精确对应物镜聚焦焦点这一特性，借助过零点对被测件的猫眼和共焦位置进行精密瞄准定位，通过干涉测长技术获取两点间的距离，继而实现曲率半径的高精度测量。该测量系统的机电控制由主控软件完成，可实现机电扫描、数据采集及数据处理，自动化程度高。实验证明，该系统定焦灵敏度高，受环境波动影响小，测量精度可达3×10^-6，满足了高精度曲率半径的计量需求。

关键词：差动共焦 曲率半径 定焦 

单位：北京理工大学光学测量研究中心 北京100081