摘要：半导体激光器结温度的测量对于其温度控制和特性研究非常重要。基于对激光器的结构和热电等效模型的研究，建立半导体激光器组件中激光器芯片和热敏电阻的数学模型，利用热敏电阻实时监测激光器在热动态过程中的结温度。以气体吸收谱线的波长验证了模型的正确性，实现激光器结温度预测不确定度约为0．01K。还利用此方法测量了电流调谐过程中动态结温度，在一个锯齿电流扫描周期内结温度变化量为0．044K。基于热敏电阻预测激光器结温度无需附加额外测量装置，其精度不受环境温度和TEC电流的影响，适合于原位、在线激光系统，也可应用于激光器组件热学性能的研究。

关键词：结温度 可调谐二极管激光吸收光谱 动态测量 

单位：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072