摘要：针对现有纳米测量技术量程小和测量环境要求苛刻等不足，提出研究一种以高频时钟脉冲作为计量基准的新型纳米位移传感器，利用差动平行电容极板构建的交变电场进行精密测量。为了优化传感参数并提高测量精度，对纳米时栅传感器在不同参数条件下的电场分布与误差特性进行了研究。首先根据其测量特征，利用ANSYS软件建立二维仿真模型，对不同参数条件下传感器的电场分布进行分析；再通过实验验证，找出不同参数与误差特性之间的关系；最后根据仿真和实验结果，对传感参数进行优化设计。实验表明：在200mm测量范围内，传感器精度达到±300nm。为纳米时栅优化设计和精度提高提供了可靠的理论依据和技术支持。

关键词：纳米测量 电容式位移传感器 时栅 电场分布 误差特性 

单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室 重庆400054