摘要：采用微机电系统（MEMS）技术设计和制作了一种基于氮化铝（A1N）基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列。传感器单元由加热器电极和信号电极组成，中间加热区周同通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失，并通过4个梁与边缘相连接。利用ANSYS软件对传感器阵列热结构进行了热场耦合有限元仿真分析，验证了设计的合理性及T艺的可行性。通过热干扰测试分析得出，传感器单元1工作在300mW时，加热温度为130．6℃，对另一单元产生的热干扰温度为119．1℃，两单元同时工作在300mw时产生的热温差仅为3．9℃，两单元的热响应速率均为6000ms。可见，研究传感器稳态下单元之间的热干扰大小和瞬态下热平衡速率对集成传感器阵列热稳定性具有重要意义。

关键词：传感器阵列 氮化铝 热传导 微机电系统 

单位：哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室 哈尔滨150080